Die Verwendung von Gasen in der Halbleiterindustrie geht auf die frühen 1950er bis 1960er Jahre zurück.Gase werden hauptsächlich zur Reinigung und zum Schutz von Halbleitermaterialien verwendet, um deren Reinheit und Qualität zu gewährleisten.Zu den am häufigsten verwendeten Gasen gehören Stickstoff und Wasserstoff.
Im Jahr 1970 entwickelte sich die Halbleitertechnologie weiter und die Produktionsprozesse wurden weiter verbessert, sodass die Nachfrage nach Gasen stieg.die Anwendung von Gasen in Schlüsselprozessen wie Ätzen und Ablagerung dünner Folien hat allmählich zugenommen, und Fluoridgase (z. B. SF6) und Sauerstoff wurden häufig als Ätzer- und Ablagerungsgase verwendet.1980 stieg die Nachfrage nach Gasen mit der Entwicklung von integrierten Schaltkreisen und der steigenden Nachfrage nach Gasen weiter an.Wasserstoff wurde in der Fertigung weit verbreitet, darunter Wasserstoffbrennen und Wasserstoffdampfdeposition.Die Nachfrage nach hochreinen Gasen und spezifischen Gasen ist gestiegen, da die Größe der Halbleitergeräte weiter zurückgegangen ist und neue Verfahren eingeführt wurden.Zum Beispiel erfordert die Anwendung der extremen ultravioletten Lithographie (EUV) die Verwendung von extrem reinen Gasen wie Stickstoff und Wasserstoff.
Halbleitergas nimmt mit der Entwicklung verwandter Produkte weiter zu, die von immer mehr Produkten angetrieben werden, während das Gas auch zur Gefahrenquelle gehört.die für die Gasdekompression verwendeten Produkte, Gasdetektionsprodukte und Gasleckage-Verhütungsprodukte wie Druckregler, Gasventile, Gasdruckmessgeräte, Gasleckage-Detektor usw. sind entstanden, und ihre Funktionen sind wie folgt:
Druckregler: Druckregler sind Geräte zur Steuerung des Gasdrucks. Sie bestehen in der Regel aus einem Reglerventil und einem Drucksensor.Druckregler nehmen ein Hochdruckgas ein und stabilisieren den Druck des Ausgangsgases, indem sie das Ventil an spezifische Anwendungsanforderungen anpassenDruckregler werden in Bereichen wie Industrie, Fertigung und Laboratorien sowie in der Halbleiterindustrie u. a. weit verbreitet.zur Gewährleistung der Stabilität und Sicherheit der Gasversorgung.
Gasventile:Gasventile werden verwendet, um den Gasfluss zu steuern und Gaspassagen zu schließen. Sie haben normalerweise eine Ein-/Aus-Funktion, die den Gasfluss öffnet oder schließt.einschließlich Handventile, elektrische Ventile und pneumatische Ventile. Sie werden in Gassystemen weit verbreitet zur Steuerung von Durchfluss, Druck und Durchfluss von Gasen eingesetzt.
Gasdruckmessgeräte:Gasdruckmessgeräte dienen zur Messung des Druckniveaus eines Gases.Sie werden in der Regel an kritischen Stellen in Gassystemen installiert, um Druckveränderungen zu überwachen und sicherzustellen, dass sie sich innerhalb sicherer Grenzwerte befindenGasdruckmessgeräte werden in der Industrie, in der Fertigung und in den Laboratorien weit verbreitet, auch die Halbleiterindustrie ist beteiligt.
Gasleckage-Detektoren:Gasleckage-Detektoren werden zur Erkennung von Lecks in Gassystemen eingesetzt. Sie erkennen das Vorhandensein von Gaslecks und schlagen Alarm, damit rechtzeitig Maßnahmen ergriffen werden können, um Leckageunfälle zu vermeiden.Gasleckage-Detektoren werden in der Industrie weit verbreitet., chemischen, Öl- und Gasanwendungen sowie der Halbleiterindustrie beteiligt.