Gasrohrleitungstechnologie von hohem Reinheitsgrad ist ein wichtiger Teil Gasversorgungssystems des von hohem Reinheitsgrad, das die Schlüsseltechnologie ist, zum des erforderlichen Gases von hohem Reinheitsgrad an den Punkt des Gebrauches zu liefern und der qualifizierten Qualität noch beizubehalten; Gasrohrleitungstechnologie von hohem Reinheitsgrad umfasst den korrekten Entwurf des Systems, die Auswahl von Installationen und Zusätze, Bau und Installation und Prüfung. In den letzten Jahren hat die in zunehmendem Maße strengen Anforderungen an die Reinheit und der Störstellengehalt von Gasen von hohem Reinheitsgrad in der Produktion von den Mikroelektronikprodukten, die durch umfangreiche integrierte Schaltungen dargestellt werden, die friedliche Technologie Gasen von den von hohem Reinheitsgrad in zunehmendem Maße betrafen und hervorhoben gemacht. Das Folgen ist ein kurzer Überblick über Gasrohrleitung von hohem Reinheitsgrad von der Materialauswahl des Baus sowie des Annahme- und täglichenmanagements.
Arten von allgemeinen Gasen
Klassifikation von allgemeinen Gasen in der Elektronikindustrie:
Allgemeine Gase (Massengas): Wasserstoff (H2), Stickstoff (N2), Sauerstoff (O2), Argon (A2), etc.
Spezialitätengase sind SiH4, PH3, B2H6, A8H3, CL, HCL, CF4, NH3, POCL3, SIH2CL2 SIHCL3, NH3, BCL3, SIF4, CLF3, Co, C2F6, N2O, F2, HF, HBR SF6 ...... etc.
Die Arten von speziellen Gasen können als Schadgas, giftiges Gas, brennbares Gas, brennbares Gas, Edelgas, etc. im Allgemeinen klassifiziert werden. Die allgemein verwendeten Halbleitergase werden im Allgemeinen wie folgt klassifiziert.
(i), Ätzmittel/giftiges Gas: HCl, BF3, WF6, HBr, SiH2Cl2, NH3, PH3, Cl2, BCl3… etc.
(ii), Entflammbarkeitsgas: H2, CH4, SiH4, PH3, AsH3, SiH2Cl2, B2H6, CH2F2, CH3F, Co… etc.
(iii) Brennbarkeitsgas: O2, Cl2, N2O, NF3… etc.
(iv), Edelgas: N2, CF4, C2F6, C4F8, SF6, CO2, Ne, Kr, er… etc.
Viele Halbleitergase sind zum menschlichen Körper schädlich. Insbesondere einige dieser Gase, wie Selbstentzündung SiH4, solange ein Leck heftig mit dem Sauerstoff in der Luft reagiert und anfängt zu brennen; und giftiges AsH3 in hohem Grade, jedes geringfügige Durchsickern verursacht möglicherweise das Risiko des Menschenlebens, ist es wegen dieser offensichtlichen Gefahren, also ist die Anforderungen für die Sicherheit des Systemdesigns besonders hoch.
Anwendungsbereich von Gasen
Als wichtiger grundlegender Rohstoff der modernen Industrie, sind Gasprodukte weitverbreitet, und viele allgemeinen Gase oder spezielle Gase werden in der Metallurgie, im Stahl, im Erdöl, in der chemischen Industrie, in der Maschinerie, in der Elektronik, im Glas, in der Keramik, in den Baumaterialien, im Bau, in der Lebensmittelverarbeitung, in der Medizin und in den medizinischen Sektoren benutzt. Die Anwendung des Gases hat eine wichtige Auswirkung auf die Spitzentechnologie dieser Felder insbesondere und ist sein unentbehrliches Rohstoffgas oder Prozessgas. Nur mit dem Bedarf und der Förderung von verschiedenen neuen Wirtschaftsbereichen und von modernem Wissenschaft und Technik, können die Gasindustrieprodukte im Hinblick auf Vielzahl, Qualität und Quantität sprunghaft entwickelt werden.
Gasanwendung in der Mikroelektronik- und Halbleiterindustrie
Der Gebrauch von Gas hat immer eine wichtige Rolle im Halbleiterprozeß gespielt, besonders der Halbleiterprozeß ist gewesen weitverbreitet in den verschiedenen Industrien, von den traditionellen ULSI, TFT LCD zur gegenwärtigen mikro-Galvano-mechanischen Industrie (MEMS), die den so genannten Halbleiterprozeß als das Herstellungsverfahren von Produkten verwenden. Die Reinheit des Gases hat eine entscheidende Auswirkung auf die Leistung von Komponenten und von Produktausbeuten, und die Sicherheit der Gasversorgung hängt mit der Gesundheit des Personals und der Sicherheit von Betriebsoperationen zusammen.
Die Bedeutung Rohrleitung der von hohem Reinheitsgrad Gastransport im von hohem Reinheitsgrad
Bei Edelstahl können das Schmelzen und die Herstellung des Materials, über 200g des Gases pro Tonne absorbiert werden. Nach der Verarbeitung des Edelstahls, nicht nur absorbierte seine Oberfläche, die mit verschiedenen Schadstoffen, aber auch in seinem Metallgitter klebrig ist auch, einen bestimmten Betrag Gas. Wenn es Luftstrom durch die Rohrleitung gibt, absorbiert das Metall dieses Teil des Gases wiederbetritt den Luftstrom und verunreinigt das reine Gas. Wenn der Luftstrom im Rohr unterbrochener Fluss ist, adsorbiert das Rohr das Gas unter Druck und wenn der Luftstrom aufhört zu überschreiten, das Gas, das durch die Rohrformen ein Druckabfall zu lösen adsorbiert wird, und das entschlossene Gas trägt auch das reine Gas in ein
Allgemeines Konzept der sauberen Technologie für Getriebe- und Verteilungsrohrleitungen
Körpergetriebe in hohem Grade reines und des Reingases mit dem Leiten von Durchschnitten, dass es bestimmte Anforderungen oder Kontrollen für drei Aspekte des Gases transportiert zu werden gibt.
Gasreinheit: Der Inhalt der Verunreinigungsatmosphäre in der gGas Reinheit: Der Inhalt der Verunreinigungsatmosphäre im Gas, normalerweise ausgedrückt als Prozentsatz der Gasreinheit, wie 99,9999%, auch ausgedrückt als das Volumenverhältnis des Verunreinigungsatmosphäreninhalts PPMs, ppb, ppt.
Trockenheit: die Menge der Spurnfeuchtigkeit im Gas oder die Menge nannten die Feuchtigkeit, normalerweise ausgedrückt im Hinblick auf Taupunkt, wie AtmosphärendruckTaupunkt -70. C.
Sauberkeit: die Anzahl von den Schadstoffpartikeln enthalten im Gas, Teilchengröße von µm, wieviele, für Druckluft auszudrücken particles/M3, normalerweise auch ausgedrückt im Hinblick auf wieviele mg/m3 von unvermeidbaren festen Rückständen, die den Ölanteil umfasst.
SchadstoffGrößengliederung: Schadstoffpartikel, bezieht hauptsächlich sich die auf Rohrleitung, die, Abnutzung, die Korrosion reinigt, die durch Metallpartikel, atmosphärische Rußpartikel erzeugt wird, sowie wird Mikroorganismen, Bakterien und Feuchtigkeit enthaltende Gaskondensationströpfchen, etc., entsprechend der Größe seiner Teilchengröße in unterteilt
A), große Partikel - Teilchengröße über 5μm
b) Partikel - materieller Durchmesser zwischen 0.1μm-5μm
c) Ultra-Mikropartikel - Teilchengröße weniger als 0.1μm.
Um die Anwendung dieser Technologie zu erhöhen, um zum Wahrnehmungsverständnis von Teilchengröße- und μmeinheiten in der Lage zu sein, wird ein Satz spezifischer Partikelstatus als Referenz zur Verfügung gestellt
Das Folgen ist ein Vergleich von spezifischen Partikeln
Namen/Particle-Größe (µm) Namen/Particle-Größe (µm) Namen-Teilchengröße µm
Aerosol des Virus-0.003-0.0 0.03-1 Aerosolized microdroplet 1-12
Kernbrennstoff 0.01-0.1 Flugasche 1-200 Farben-0.1-6
Ruß 0.01-0.3 Schädlingsbekämpfungsmittel 5-10 Milchpulver-0.1-10
Bakterien des Harz-0.01-1 0.3-30 Zementstaub 5-100
Zigarettenrauch 0.01-1 Sandstaub 0.5-5 Blütenstaub 10-15
Menschenhaar 50-120 des Silikon-0.02-0.1 des Schädlingsbekämpfungsmittel-0.5-10
Kristallisierter Schwefel-Staub 1-11 des Salzes 0.03-0.5 starker Meersand 100-1200